特許

J-GLOBAL ID：201303092630429145

積層磁性薄膜及び磁性部品

発明者： 池田 賢司
出願人/特許権者： 太陽誘電株式会社
代理人 (1件)： 梶原 康稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-139138
公開番号（公開出願番号）：特開2013-008767
出願日： 2011年06月23日
公開日（公表日）： 2013年01月10日
要約：

【課題】高い強磁性共鳴周波数を有するグラニュラ磁性材料を利用しつつ、強磁性共鳴線幅の増加を抑制し、動作周波数の広い積層磁性薄膜及び磁性部品を提供する。【解決手段】積層磁性薄膜10は、絶縁体媒質14中に磁性粒子16が分散されたグラニュラ磁性層12と絶縁層18とを交互に積層した構造であり、磁性粒子16には結晶配向を促すPdが添加されている。Pdの添加量は、グラニュラ磁性層12をCoFePdSiOとし、絶縁層18をSiO2とする積層磁性薄膜10においては、Co-Feの磁性粒子16に対し、20at%以上とすることが好ましい。グラニュラ磁性層12と絶縁層18の積層構造により、磁性粒子16の粒径の分布を抑制して膜厚方向の磁性粒子16の間隔を一定に保ち、前記Pdの添加により磁性粒子16の結晶配向を促して磁化容易軸方向の分散に起因した強磁性共鳴線幅の増加を抑制する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

絶縁体媒質中に磁性粒子を分散させたグラニュラ磁性層と絶縁層とを交互に積層するとともに、前記磁性粒子にPdを添加したことを特徴とする積層磁性薄膜。

IPC (4件)：

H01F 10/16 ,  H01F 41/18 ,  H01F 10/28 ,  H01F 10/30

FI (4件)：

H01F10/16 ,  H01F41/18 ,  H01F10/28 ,  H01F10/30

Fターム (9件)：

5E049AA04 ,  5E049AA09 ,  5E049AC05 ,  5E049AC10 ,  5E049BA29 ,  5E049CB01 ,  5E049DB02 ,  5E049DB14 ,  5E049GC01