特許
J-GLOBAL ID：201303092891714904
MEMS光学部品
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山内 康伸
, 中井 博
, 山内 伸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-042744
公開番号（公開出願番号）：特開2013-178418
出願日： 2012年02月29日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：
【課題】基板に対して平行な面内で角度調整可能なMEMS光学部品を提供する。【解決手段】基板Bに形成されたフレーム10と、基板Bに形成された回転ステージ20と、フレーム10に固定され回転ステージ20を支持するサスペンション30と、回転ステージ20を基板Bに対して平行な面内で回転させるアクチュエータ40と、回転ステージ40に固定される光学部品本体60とを備える。回転ステージ20が基板Bに対して平行な面内で回転するので、光学部品本体60を基板Bに対して平行な面内で角度調整できる。そのため、MOBにより構成された光学系と同一基板上にMEMS光学部品1を形成することができ、光学部品の角度調整が可能な小型の光学系を位置合わせ不要で構成できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板に形成されたフレームと、
前記基板に形成された回転ステージと、
前記フレームに固定され、前記回転ステージを支持するサスペンションと、
前記回転ステージを前記基板に対して平行な面内で回転させるアクチュエータと、
前記回転ステージに固定される光学部品本体と、を備える
とすることを特徴とするMEMS光学部品。
IPC (3件)：
G02B 26/08
, B81B 3/00
, G02B 7/182
G02B26/08 E
, B81B3/00
, G02B26/08 C
, G02B26/08 A
, G02B7/18 Z
2H043CD04
, 2H043CE00
, 2H141MA15
, 2H141MB23
, 2H141MC07
, 2H141MD12
, 2H141MD20
, 2H141MD23
, 2H141MD25
, 2H141MZ13
, 2H141MZ16
, 2H141MZ19
, 2H141MZ26
, 3C081BA07
, 3C081BA28
, 3C081BA44
, 3C081BA47
, 3C081BA53
, 3C081BA76
, 3C081EA07
