特許

J-GLOBAL ID：201303093020196218

真空環境対応カメラ

発明者： 中田 茂夫 ,  佐藤 誠一 ,  吾郷 健二
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気 ,  株式会社アルバック
代理人 (1件)： 守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-107906
公開番号（公開出願番号）：特開2013-235160
出願日： 2012年05月09日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：

【課題】真空環境内を撮影して映像出力するカメラに関し、カメラを真空環境内に設置した状態で当該カメラからのリーク(気体の漏れ)の有無をチェックすることが可能な真空環境対応カメラを提供する。【解決手段】真空環境対応カメラ4aは、真空環境となる処理室1の外部からカメラ内部17(筐体内)にリークチェック用ガスを導入するリークチェック用ポート19aを取り付け可能な構造にしてあり、通常運用時には、リークチェック用ポート19aの取り付け部を塞ぐガス導入ポートフサギイタ18aを装着することでカメラの密閉性を確保し、リークチェック時には、リークチェック用ポート19aを取り付けることで、カメラ内部17は処理室1外部との接続が可能となり、処理室1外部のガス導入部20からカメラ内部17へリークチェック用ガスを送り込むことができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

真空環境内に設置されるカメラであって、 耐真空環境の強度を有する気密構造の筐体を備え、 前記筐体は、真空環境の外部から当該筐体内にガスを導入するポートを取り付け可能である、 ことを特徴とする真空環境対応カメラ。

IPC (2件)：

G03B 17/02 ,  G03B 15/00

FI (2件)：

G03B17/02 ,  G03B15/00 T

Fターム (3件)：

2H100CC01 ,  2H100CC07 ,  2H100EE00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-105747   出願人：日本精工株式会社
• 真空搬送方法および真空処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-338029   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭62-098621