特許
J-GLOBAL ID:201303093149621691

回折光学素子及びその製造方法並びに回折光学素子を用いた光学系

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高梨 幸雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-072805
公開番号(公開出願番号):特開2013-205534
出願日: 2012年03月28日
公開日(公表日): 2013年10月07日
要約:
【課題】密着2層DOEにおける応力が残存する場合に発生する回折光学素子の中心と周辺での回折効率の場所依存性(むら)を低減できる回折光学素子及びその製造方法並びに回折光学素子を用いた光学系を提供する。【解決手段】互いに異なる材料により形成される第1の回折格子と第2の回折格子が各々の格子面が接するように積層される回折格子部を有し、第1の回折格子、第2の回折格子は、各々の格子面の下に夫々第1のレンズ側の第1のベース層、第2のレンズ側の第2のベース層を備え、第1の回折格子は、第2の回折格子に対し屈折率が高く分散が低い材料で形成される回折光学素子であって、第1のレンズと第1の回折格子との間に中間層を有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
曲面形状の第1のレンズと第2のレンズの間に互いに異なる材料により形成される第1の回折格子と第2の回折格子が各々の格子面が接するように積層される回折格子部を有し、 前記第1の回折格子、前記第2の回折格子は、前記各々の格子面の下に夫々前記第1のレンズ側の第1のベース層、前記第2のレンズ側の第2のベース層を備え、 前記第1の回折格子は、前記第2の回折格子に対し屈折率が高く分散が低い材料で形成される回折光学素子であって、 前記第1のレンズと前記第1の回折格子との間に中間層を有することを特徴とする回折光学素子。
IPC (3件):
G02B 5/18 ,  G02B 13/00 ,  G02B 3/08
FI (3件):
G02B5/18 ,  G02B13/00 ,  G02B3/08
Fターム (23件):
2H087KA01 ,  2H087LA01 ,  2H087PA10 ,  2H087PA16 ,  2H087PB17 ,  2H087QA02 ,  2H087QA05 ,  2H087QA14 ,  2H087QA21 ,  2H087QA25 ,  2H087QA31 ,  2H087QA41 ,  2H087QA46 ,  2H087RA32 ,  2H087RA46 ,  2H249AA02 ,  2H249AA18 ,  2H249AA40 ,  2H249AA43 ,  2H249AA44 ,  2H249AA50 ,  2H249AA63 ,  2H249AA66

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