圧力センサ

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：志賀正武 , 鈴木慎吾 , 西澤和純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-105306
公開番号（公開出願番号）：特開2013-234853
出願日： 2012年05月02日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：

【課題】微小な圧力変動の検出を精度良く行うことができると共に、圧力変動の下限周波数を所望する値に設定でき、検出できる圧力変動の周波数帯域を任意に設定すること。【解決手段】所定の周波数帯域の圧力変動を検出するセンサであって、キャビティ10が形成されたセンサ本体3と、センサ本体に片持ち状に支持された状態で連通開口11の内側に配設され、キャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバー4と、カンチレバーの変位を測定する変位測定部と、を備え、カンチレバーの外周縁と連通開口の開口端との間にはギャップ13が形成され、周波数帯域における下限周波数fLOW(Hz)は下記式(1)によって設定されている圧力センサを提供する。 fLOW >k・(G2/V)・・・(1)〔kは比例定数、Gはギャップの幅(μm)、Vはキャビティの容積(ml)である。〕【選択図】図2

請求項（抜粋）：

所定の周波数帯域の圧力変動を検出する圧力センサであって、キャビティと、該キャビティの内部と外部とを連通する連通開口と、が形成されたセンサ本体と、半導体材料により基端部から先端部に向けて一方向に延びる板状に形成され、基端部が前記センサ本体に片持ち状に支持された状態で前記連通開口の内側に配設され、前記キャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバーと、前記カンチレバーの変位を測定する変位測定部と、を備え、前記カンチレバーの外周縁と前記連通開口の開口端との間には、該カンチレバーの外周縁に沿ってギャップが形成され、前記周波数帯域における下限周波数fLOW(Hz)は、下記式(1)によって設定されていることを特徴とする圧力センサ。 fLOW >k・(G2/V)・・・(1) 〔式中、kは比例定数、Gは前記ギャップの幅(μm)、Vは前記キャビティの容積(ml)である。〕

IPC (2件)：

G01L 9/00 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01L9/00 303A , H01L29/84 B

Fターム (23件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC12 , 2F055DD05 , 2F055EE13 , 2F055FF16 , 2F055GG11 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA21 , 4M112CA22 , 4M112CA23 , 4M112CA29 , 4M112CA32 , 4M112CA33 , 4M112CA34 , 4M112DA10 , 4M112DA12 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112FA01 , 4M112GA03

引用特許：

出願人引用 (3件)

特公平7-001215
摩擦原理によるMEMS真空センサ
公報種別：公表公報出願番号：特願2009-511361 出願人：フラウンホーファー-ゲゼルシャフトツルフェルデルングデルアンゲヴァンテンフォルシュングエーファウ, テヒニッシェウニヴァーズィテートケムニッツ
特許第5674167号

引用文献：

出願人引用 (2件)

AIR PRESSURE SENSOR FOR AN INSECT WING
MEMSセンサを用いた昆虫型羽ばたき翼における差圧計測

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