特許
J-GLOBAL ID:201303093751345158
全反射吸収測定装置および全反射吸収測定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-076824
公開番号(公開出願番号):特開2013-205339
出願日: 2012年03月29日
公開日(公表日): 2013年10月07日
要約:
【課題】時間分解による測定を行うことで、ナノ秒〜マイクロ秒オーダーでラジカルなどの化学種の濃度変化を測定することが可能な全反射吸収測定装置および全反射吸収測定方法を提供すること。【解決手段】 全反射吸収測定を行うために、プローブ光14を発生させる光源11と、プローブ光14を全反射した後に出射させる全反射減衰型の光学プローブ30と、出射したプローブ光14を分光する分光器12と、分光された特定波長光の強度を検出する検出器13とを備えている。更に、時間分解測定を行うために、サンプルSを励起させるためのパルス光22を発生させる励起光源21と、光学プローブ30に設けたパルス光22の受光部31と、サンプルSを偏平な空間内に保持するサンプル保持部32と、これらを制御する制御演算手段40と、サンプルを交換するサンプル交換手段23と、を備えている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
遠紫外波長領域のプローブ光を発生させる光源と、
サンプルを励起させるためのパルス光を発生させる励起光源と、
サンプルとの接触面及びその接触面の裏面側に設けられた前記パルス光の受光部を有し、臨界角より大きい入射角で入射するプローブ光を全反射した後に出射させる全反射減衰型の光学プローブと、
サンプルの流入部及び流出部を有し、前記接触面と接触した状態でサンプルを偏平な空間内に保持するサンプル保持部と、
前記光学プローブから出射したプローブ光を分光する分光器と、
その分光された特定波長光の強度を検出する検出器と、
前記励起光源によりパルス光を周期的に発生させながら、パルス光の発生と積分器が積算する取り込み時間ゲートとの時間間隔を制御して、前記検出器からの検出信号を積分器に取り込んで積算しつつ、複数の時間間隔の制御により時間分解した積算値から吸光特性の時間変化を求める制御演算手段と、
前記サンプルの流入部及び流出部を介して、前記パルス光の周期的な発生に合わせて前記サンプル保持部に保持されたサンプルを交換するサンプル交換手段と、
を備える全反射吸収測定装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (19件):
2G059AA01
, 2G059CC20
, 2G059DD12
, 2G059DD13
, 2G059EE01
, 2G059EE12
, 2G059FF04
, 2G059GG01
, 2G059GG08
, 2G059HH03
, 2G059HH06
, 2G059JJ05
, 2G059JJ06
, 2G059KK02
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059MM09
, 2G059MM10
, 2G059PP05
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