特許
J-GLOBAL ID:201303093804797714
酸化亜鉛系粉末、酸化亜鉛系焼結体の製造方法およびそれらを用いたターゲット
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
深井 敏和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-231054
公開番号(公開出願番号):特開2013-189369
出願日: 2012年10月18日
公開日(公表日): 2013年09月26日
要約:
【課題】 亜鉛の揮散が抑制され、高密度の焼結体を作製することが可能なカプセル熱間等方加圧焼結を実現可能とする酸化亜鉛系粉末、酸化亜鉛系焼結体の製造方法およびターゲットを提供することにある。 【解決手段】 本発明の酸化亜鉛系粉末は、タップ密度が2.8g/cm3未満である原料酸化亜鉛粉末を、大気中にて900〜1400°Cで焼成した、タップ密度が2.8g/cm3以上である酸化亜鉛系粉末と、低原子価酸化チタン粉末とを混合して得られた、チタンの原子数の割合が全金属原子数に対して0.2%以上10%以下であり、タップ密度が2.8g/cm3以上である粉末である。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
タップ密度が2.8g/cm3未満である原料酸化亜鉛粉末を、大気中にて900〜1400°Cで焼成した、タップ密度が2.8g/cm3以上であることを特徴とする酸化亜鉛系粉末。
IPC (5件):
C01G 9/02
, C23C 14/34
, C04B 35/453
, C04B 35/645
, C04B 35/626
FI (5件):
C01G9/02 Z
, C23C14/34 A
, C04B35/00 P
, C04B35/64 302A
, C04B35/00 A
Fターム (24件):
4G030AA16
, 4G030AA32
, 4G030AA34
, 4G030AA36
, 4G030BA02
, 4G030BA15
, 4G030CA01
, 4G030GA04
, 4G030GA22
, 4G030GA24
, 4G030GA27
, 4G030GA29
, 4G047AA02
, 4G047AB04
, 4G047AC03
, 4G047AD03
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA49
, 4K029BC09
, 4K029CA05
, 4K029DC05
, 4K029DC09
, 4K029DC34
引用特許: