特許
J-GLOBAL ID：201303094450777679

エフェクトピグメントを含む表面を検査する方法および装置

発明者：
ピーター シュヴァルツ

ピーター シュヴァルツ について


出願人/特許権者：
ベーユプスィロンカー-ガードネル ゲーエムベーハー

ベーユプスィロンカー-ガードネル ゲーエムベーハー について


代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  森下 夏樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-212151
公開番号（公開出願番号）：特開2012-252023
出願日： 2012年09月26日
公開日（公表日）： 2012年12月20日
要約：
【課題】表面を検査する方法および装置を提供すること。【解決手段】表面の特性を検査する方法であって、第1の所定の放出角(α1)で、検査される表面(9)上に放射を放出するステップと、第1の受信角(β1)で、第1の放出角(α1)で放出されて、検査される表面(9)から反射された、放射の少なくとも一部分を受信し、受信された放射の特徴である複数の第1の測定値を出力するステップと、第2の所定の放出角(α2)で、検査される表面(9)上に放射を放出するステップと、第2の受信角(β2)で、第2の放出角(α2)で放出されて、検査される表面(9)から反射された、放射の少なくとも一部分を受信し、受信された放射の特徴である複数の第2の測定値を出力するステップと、第1の測定値と第2の測定値との間の比較を実行するステップと、を包含する、方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
表面の特性を検査する方法であって、該方法は、 第1の所定の放出角(α1)で、検査される表面上に放射を放出するステップと、 該第1の放出角(α1)で放出されて、検査される該表面から反射された、該放射の少なくとも一部分を第1の受信角(β1)で受信し、該受信された放射の特徴である複数の第1の測定値を出力するステップと、 第2の所定の放出角(α2)で、検査される表面(9)上に放射を放出するステップと、 該第2の放出角(α2)で放出されて、検査される該表面から反射された、該放射の少なくとも一部分を第2の受信角(β2)で受信し、該受信された放射の特徴である複数の第2の測定値を出力するステップであって、少なくとも該放出角(α1,α2)または該受信角(β1,β2)は異なっている、ステップと、 該複数の第1の測定値と該複数の第2の測定値との比較を実行するステップと を含み、 該放射は、空間的に分解された態様で受信され、該異なる放出角または該異なる受信角の差は、5°未満である、方法。
IPC (2件)：
G01N 21/84 ,  G01N 21/57
FI (2件)：
G01N21/84 Z ,  G01N21/57
Fターム (16件)：
2G051AA89 ,  2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051BC07 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CD05 ,  2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059BB15 ,  2G059EE02 ,  2G059GG03 ,  2G059KK03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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