特許
J-GLOBAL ID:201303094710418953

キャリア輸送性有機非晶質薄膜の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 船山 武 ,  三木 雅夫 ,  野村 進 ,  大房 直樹 ,  覚田 功二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-166656
公開番号(公開出願番号):特開2013-030406
出願日: 2011年07月29日
公開日(公表日): 2013年02月07日
要約:
【課題】構成する有機分子の配向が制御され、キャリア移動度が高いキャリア輸送性有機非晶質薄膜の製造方法の提供。【解決手段】キャリア輸送性のπ電子共役有機分子を基材上に蒸着させて、キャリア輸送性有機非晶質薄膜を製造する方法であって、前記有機分子のガラス転移点Tg[K]、前記薄膜の膜密度から算出される前記有機分子一分子あたりの体積Vm[Å3]、及び前記有機分子の蒸着速度R[Å/sec]を用いて下記式(A)から算出される温度TA[°C]以上で、且つ1.15Tg[K]以下である温度に、前記基材の温度を調節しながら、前記有機分子を蒸着させることを特徴とするキャリア輸送性有機非晶質薄膜の製造方法。 TA=0.85×Tg/(1+0.01846×ln(Vm/(600×R))-273 ・・・・(A)【選択図】なし
請求項(抜粋):
キャリア輸送性のπ電子共役有機分子を基材上に蒸着させて、キャリア輸送性有機非晶質薄膜を製造する方法であって、 前記有機分子のガラス転移点Tg[K]、前記薄膜の膜密度から算出される前記有機分子一分子あたりの体積Vm[Å3]、及び前記有機分子の蒸着速度R[Å/sec]を用いて下記式(A)から算出される温度TA[°C]以上で、且つ1.15Tg[K]以下である温度に、前記基材の温度を調節しながら、前記有機分子を蒸着させることを特徴とするキャリア輸送性有機非晶質薄膜の製造方法。 TA=0.85×Tg/(1+0.01846×ln(Vm/(600×R))-273 ・・・・(A)
IPC (2件):
H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (4件):
H05B33/10 ,  H05B33/22 B ,  H05B33/22 D ,  H05B33/14 A
Fターム (11件):
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC11 ,  3K107DD71 ,  3K107DD74 ,  3K107DD78 ,  3K107FF05 ,  3K107FF18 ,  3K107GG00 ,  3K107GG04 ,  3K107GG28

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