特許
J-GLOBAL ID：201303095036412630

パターン測定方法及びパターン測定装置

発明者：
村川 勉

村川 勉 について

, 
米倉 勲

米倉 勲 について


出願人/特許権者：
株式会社アドバンテスト

株式会社アドバンテスト について

, 
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-088418
公開番号（公開出願番号）：特開2013-217765
出願日： 2012年04月09日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：
【課題】逆テーパー状のパターンの側壁角度を測定できるパターン測定装置及びパターン測定方法を提供する。【解決手段】予め決められた2の加速電圧の下で測定対象パターンのSEM画像をそれぞれ取得し、取得したSEM画像から、測定対象パターンのホワイトバンド幅を検出する。そして、2つの加速電圧の間でのホワイトバンド幅の変化量を算出する。そして、予め求めておいたホワイトバンド幅の変化量と側壁角度の関係に基づいて、その測定対象パターンの側壁角度を算出する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
予め決められた2つの加速電圧の下での測定対象パターンのSEM画像をそれぞれ取得する工程と、 前記SEM画像から、前記測定対象パターンのホワイトバンド幅を検出する工程と、 検出されたホワイトバンド幅の差分を取ってホワイトバンド幅の変化量を求める工程と、 前記ホワイトバンド幅の変化量に基づいて、前記測定対象パターンの側壁角度を求める工程と、 を有することを特徴とするパターン測定方法。
IPC (2件)：
G01B 15/00 ,  G01B 15/04
FI (2件)：
G01B15/00 K ,  G01B15/04 K
Fターム (18件)：
2F067AA26 ,  2F067AA33 ,  2F067AA54 ,  2F067CC15 ,  2F067GG01 ,  2F067HH06 ,  2F067HH13 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067PP12 ,  2F067QQ03 ,  2F067QQ11 ,  2F067RR00 ,  2F067RR12 ,  2F067RR20 ,  2F067RR25 ,  2F067RR31
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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