特許

J-GLOBAL ID：201303095163906782

ボンディング装置

発明者： 安吉 裕之
出願人/特許権者： 澁谷工業株式会社
代理人 (2件)： 神崎 真一郎 ,  神崎 真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-106440
公開番号（公開出願番号）：特開2013-235907
出願日： 2012年05月08日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：

【解決手段】 ボンディング装置3は、レーザ光Lを発振するレーザ発振器6と、レーザ光を導光する導光手段7と、チップ1を基板2にボンディングするボンディングヘッド8と、ボンディングヘッド8をボンディング位置まで移動させるボンディングヘッド移動手段9とを備えている。 レーザ発振器をボンディングヘッドと別体に設けるとともに、上記導光手段は、ボンディング位置の近傍に設けた照射バレル43と、照射バレルを往復動させる照射バレル移動手段44と、ボンディングヘッドに設けられるとともに照射バレルと接続可能な受光部23とを備えている。 上記ボンディングヘッド移動手段がボンディングヘッドを上記ボンディング位置まで移動させると、上記照射バレル移動手段が照射バレルを前進位置まで移動させて上記ボンディングヘッドの受光部に接続させる。【効果】 ボンディングヘッドを軽量化して高精度に移動させることができる。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

レーザ光を発振するレーザ発振器と、上記レーザ発振器から発振されたレーザ光を導光する導光手段と、供給位置でチップを吸着保持するとともにチップを基板に当接させたボンディング位置で上記導光手段が導光したレーザ光によりチップを加熱して基板にボンディングするボンディングヘッドと、上記ボンディングヘッドを上記供給位置とボンディング位置との間で移動させるボンディングヘッド移動手段とを備えたボンディング装置において、 上記レーザ発振器は、上記ボンディングヘッドと別体に設けられ、 上記導光手段は、上記ボンディング位置の近傍に設けた照射バレルと、上記照射バレルを後退位置と前進位置とに往復動させる照射バレル移動手段と、上記ボンディングヘッドに設けられるとともに上記前進位置に位置した照射バレルと接続可能な受光部とを備え、 上記ボンディングヘッド移動手段がボンディングヘッドを上記ボンディング位置まで移動させると、上記照射バレル移動手段が照射バレルを後退位置から前進位置まで移動させて、当該照射バレルを上記ボンディングヘッドの受光部に接続し、この状態で上記レーザ発振器がレーザ光を発振すると、レーザ光は上記受光部によって上記ボンディングヘッド内に導光されることを特徴とするボンディング装置。

IPC (7件)：

H01L 21/60 ,  B23K 26/08 ,  B23K 26/06 ,  B23K 26/00 ,  B23K 1/00 ,  B23K 1/005 ,  B23K 3/00

FI (7件)：

H01L21/60 311T ,  B23K26/08 K ,  B23K26/06 J ,  B23K26/00 H ,  B23K1/00 330E ,  B23K1/005 A ,  B23K3/00 310F

Fターム (7件)：

4E068CD10 ,  4E068CD11 ,  4E068CE08 ,  4E068DA10 ,  5F044PP17 ,  5F044PP19 ,  5F044RR12