特許
J-GLOBAL ID：201303095223415279
表面波プラズマ処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-002468
公開番号（公開出願番号）：特開2013-143448
出願日： 2012年01月10日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
要約：
【課題】複数のマイクロ波放射部からマイクロ波を放射して表面波プラズマを形成する場合に、より高いプラズマ密度を得ること。【解決手段】処理容器1内に表面波プラズマを生成してプラズマ処理を行う表面波プラズマ処理装置100は、マイクロ波を生成するマイクロ波出力部30と、生成されたマイクロ波を処理容器1内に放射する複数のマイクロ波放射部43と、処理容器1の上部に設けられ、複数のマイクロ波放射部43から放射されたマイクロ波により、処理容器1内で表面波が伝送する表面波伝送線路が形成される表面波伝送線路形成部材115とを有し、表面波伝送線路形成部材115は、誘電体からなり、複数のマイクロ波放射部43を覆い、かつサセプタ11に向けて凹状をなし、サセプタ11に対応するような凹部が形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被処理基板を収容する処理容器と、
前記処理容器内で被処理基板が載置される載置台と、
前記処理容器内にガスを供給するガス供給機構と、
前記処理容器内にマイクロ波を導入して、前記処理容器内に供給されたガスによる表面波プラズマを形成する表面波プラズマ源と
を具備し、
前記表面波プラズマ源は、
マイクロ波を生成するマイクロ波生成機構と、
生成されたマイクロ波を前記処理容器内に放射する複数のマイクロ波放射部と、
前記処理容器の上部に設けられ、前記複数のマイクロ波放射部から放射されたマイクロ波により、前記処理容器内で表面波が伝送する表面波伝送線路が形成される表面波伝送線路形成部材と
を有し、
前記表面波伝送線路形成部材は、誘電体からなり、前記複数のマイクロ波放射部を覆い、かつ前記載置台に向けて凹状をなし、前記載置台に対応するような凹部が形成されていることを特徴とする表面波プラズマ処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/306
, H05H 1/46
, C23C 16/511
H01L21/302 101D
, H05H1/46 B
, C23C16/511
4K030CA04
, 4K030CA12
, 4K030FA01
, 4K030KA20
, 4K030KA30
, 4K030LA15
, 5F004AA01
, 5F004BB14
, 5F004CA06
