特許

J-GLOBAL ID：201303095527706296

物体処理装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送装置、及び物体の搬入方法

発明者： 青木 保夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-186987
公開番号（公開出願番号）：特開2013-051237
出願日： 2011年08月30日
公開日（公表日）： 2013年03月14日
要約：

【課題】露光装置内への基板の搬入を効率よく行う。【解決手段】 液晶露光装置内に基板P3を搬入する方法は、露光領域内で基板P3を保持可能な基板ステージ20に対して基板P3を搬送する基板搬入装置80aが有するフォークハンド83を上記露光領域外(ポート部60の上方の領域)に位置させることと、外部搬入ロボット90bが有するロードハンド91bに下方から支持された基板P3をフォークハンド83の上方に位置させることと、ロードハンド91bに下方から支持された基板P3をロードハンド91b上からフォークハンド83上に載せ替えることと、を含む。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

所定の処理領域内で物体に関して所定の処理を行う物体処理装置であって、 前記処理領域内で前記物体を保持可能な物体保持装置と、 前記物体を下方から支持可能な第1支持部材を含み、該物体を前記所定領域外から前記物体保持装置に対して搬送する装置内搬送装置と、 前記所定領域外に設けられ、装置外搬送装置が有する第2支持部材に下方から支持された前記物体が、前記所定領域外に位置する前記第1支持部材の上方に位置した状態で前記第2支持部材から前記物体を受け取るとともに、該物体を前記第1支持部材の上方から前記第2支持部材が退避した後に前記第1支持部材に受け渡す受け渡し装置と、を備える物体処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/677

FI (4件)：

H01L21/30 502J ,  H01L21/30 515G ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 A

Fターム (28件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA13 ,  5F031GA02 ,  5F031GA24 ,  5F031GA48 ,  5F031GA50 ,  5F031GA62 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031HA58 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA22 ,  5F031JA27 ,  5F031JA36 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA02 ,  5F146CD01 ,  5F146CD04 ,  5F146CD05