室温精製器の回復方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：藤本昇 , 薬丸誠一 , 中谷寛昭 , 大中実
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-515054
特許番号：特許第5179687号
出願日： 2000年08月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 (a)Fe、Mn、Ni及びこれらの混合物からなる群から選ばれ且つ少なくとも5%が還元された金属の形態である分散状態の遷移金属材料と、該遷移金属材料と混合された分散状態であり且つZr、Ti、Nb、Ta、V及びこれらの合金からなる群から選ばれるゲッタ材との混合物を含み、該混合物にガス中の不純物を吸収させてガスの精製を行う室温精製器の回復方法であって、遷移金属材料が不純物を吸収した状態であり且つゲッタ材が水素を吸収した状態である混合物を含む精製器を作業環境下にシールし、 (b)該精製器を少なくとも200°Cまで加熱し、 (c)該精製器を冷却し、そして (d)該精製器を開封することを含む遷移金属材料とゲッタ材との混合物を含む室温精製器の回復方法。

IPC (4件)：

B01D 53/14 ( 200 6.01) , B01J 20/02 ( 200 6.01) , B01J 20/34 ( 200 6.01) , H01L 21/205 ( 200 6.01)

FI (4件)：

B01D 53/14 A , B01J 20/02 A , B01J 20/34 F , H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭63-064901
特開昭63-064901
特開平3-126607

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