特許

J-GLOBAL ID：201303095999043576

振動片の製造方法

発明者： 松尾 敦司
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-070889
公開番号（公開出願番号）：特開2013-207332
出願日： 2012年03月27日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：

【課題】高精度な外形形状を有する振動片の製造方法を実現する。【解決手段】金属フッ化膜60と金属酸化膜70とを積層して積層体層を形成した後、金属酸化膜70の表面にレジスト層80を形成してレジスト層80のパターニングを行い、積層体層のパターニングを行うマスク90を形成する。次いでこのマスク90を用いて積層体層をパターニングして振動片10の外形形状を形成する際に用いるマスク91を形成し、マスク91を用いてドライエッチングにより振動片10の外形形状を形成する。金属酸化膜70は、金属フッ化膜60とレジスト層80の両方に対して密着性がよいことから、金属フッ化膜60にサイドエッチングが発生すること、レジスト層80の剥離が発生することを抑制することができる。そのことによって高精度なマスク91を形成することができ、その結果、振動片10の外形形状を高精度に形成することができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板上に、金属フッ化膜、金属酸化膜の順に積層して積層体層を形成する工程と、 前記金属酸化膜の表面にレジスト層を形成する工程と、 前記レジスト層をパターニングする工程と、 パターニングされた前記レジスト層をマスクとして、前記積層体層をパターニングする工程と、 パターニングされた前記積層体層をマスクとし、前記基板を所定の形状に形成する工程と、 を含むことを特徴とする振動片の製造方法。

IPC (6件)：

H03H 3/02 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/08 ,  G01C 19/562 ,  H01L 21/306

FI (6件)：

H03H3/02 B ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 Z ,  G01C19/56 128 ,  H01L21/302 104C

Fターム (24件)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB14 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  3C081BA43 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081CA02 ,  3C081CA14 ,  3C081CA17 ,  3C081CA40 ,  3C081EA02 ,  5F004BA11 ,  5F004DA23 ,  5F004DB03 ,  5F004DB12 ,  5F004EA05 ,  5F004EA06 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11