特許

J-GLOBAL ID：201303096263468495

基板保持装置及び基板処理装置

発明者： 宮成 淳
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-123721
公開番号（公開出願番号）：特開2013-251348
出願日： 2012年05月30日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
要約：

【課題】ダイシングテープにダメージを与えることなく基板を保持する。【解決手段】基板保持装置100は、その片面にダイシングテープ2が貼り付けられ、他方の面が液体により処理される基板1を、複数保持するための保持容器101と、保持容器101内から保持容器101外への気体の流れを生じさせる気流発生手段とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

その片面に粘着テープが貼り付けられ、他方の面が液体により処理される基板を、複数保持するための保持容器と、 上記保持容器内から上記保持容器外への気体の流れを生じさせる気流発生手段と、 を備えていることを特徴とする基板保持装置。

IPC (2件)：

H01L 21/673 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

H01L21/68 T ,  H01L21/304 648D ,  H01L21/304 648L

Fターム (24件)：

5F131AA02 ,  5F131BA37 ,  5F131BA42 ,  5F131CA12 ,  5F131DA13 ,  5F131GA13 ,  5F131GA92 ,  5F131JA04 ,  5F131JA27 ,  5F157AA71 ,  5F157AA98 ,  5F157AC03 ,  5F157AC15 ,  5F157BG92 ,  5F157BH21 ,  5F157CB28 ,  5F157CC11 ,  5F157CE54 ,  5F157CF20 ,  5F157CF72 ,  5F157CF80 ,  5F157DB33 ,  5F157DB38 ,  5F157DC90