特許
J-GLOBAL ID：201303097030584092

波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器

発明者：
西村 晃幸

西村 晃幸 について

, 
佐野 朗

佐野 朗 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-089970
公開番号（公開出願番号）：特開2013-218193
出願日： 2012年04月11日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：
【課題】製造時において接合ズレが生じた際でも、反射膜間ギャップのギャップ制御の精度を維持できる波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定反射膜54及び固定側電極561が設けられた固定基板51と、可動反射膜55及び可動側電極562が設けられた可動基板52と、を備え、固定側電極561及び可動側電極562は、フィルター平面視において、固定反射膜54及び可動反射膜55が重なり合う光干渉領域Ar0の外側に設けられ、固定側電極561の内径側周縁561A1は、可動側電極562の外径側周縁562A2よりも光干渉領域Ar0側に位置し、固定側電極561の外径側周縁561A2は、可動側電極562の外径側周縁562A2のよりも光干渉領域Ar0から離れる側に位置する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第一基板と、 前記第一基板に対向して配置された第二基板と、 前記第一基板に設けられた第一反射膜と、 前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対して反射膜間ギャップを介して対向する第二反射膜と、 前記第一基板に設けられた第一電極と、 前記第二基板に設けられ、前記第一電極に対向する第二電極と、を備え、 前記第一電極及び前記第二電極は、前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第一反射膜及び前記第二反射膜が重なり合う光干渉領域の外側に設けられ、 前記平面視において、前記第一電極の前記光干渉領域側の周縁は、前記第二電極の周縁よりも前記光干渉領域に近い側に位置し、 前記平面視において、前記第一電極の前記光干渉領域とは反対側の周縁は、前記第二電極の周縁よりも前記光干渉領域から離れる側に位置する ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
IPC (4件)：
G02B 26/00 ,  G02B 5/28 ,  G01J 3/50 ,  G01J 3/26
FI (4件)：
G02B26/00 ,  G02B5/28 ,  G01J3/50 ,  G01J3/26
Fターム (50件)：
2G020AA08 ,  2G020CC23 ,  2G020DA05 ,  2G020DA12 ,  2G020DA33 ,  2G043AA01 ,  2G043CA01 ,  2G043EA03 ,  2G043GA04 ,  2G043GB02 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA09 ,  2G043JA03 ,  2G043LA01 ,  2G059AA01 ,  2G059BB11 ,  2G059BB13 ,  2G059CC15 ,  2G059CC16 ,  2G059EE02 ,  2G059EE03 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ11 ,  2G059KK04 ,  2H048GA13 ,  2H048GA15 ,  2H048GA21 ,  2H048GA25 ,  2H048GA61 ,  2H048GA62 ,  2H141MB14 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MD05 ,  2H141ME09 ,  2H141MF02 ,  2H141MZ03 ,  2H141MZ12 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ22 ,  2H141MZ28 ,  2H148GA13 ,  2H148GA15 ,  2H148GA21 ,  2H148GA25 ,  2H148GA61 ,  2H148GA62
引用特許：
審査官引用 (3件)

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