特許
J-GLOBAL ID：201303097034527450

半導体装置の製造方法

発明者：
本 多 亮

本 多 亮 について

, 
青 山 知 憲

青 山 知 憲 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (6件)： 勝沼 宏仁 ,  佐藤 泰和 ,  川崎 康 ,  関根 毅 ,  赤岡 明 ,  大浦 裕美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-067988
公開番号（公開出願番号）：特開2013-201225
出願日： 2012年03月23日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
要約：
【課題】電気的なリーク耐性に優れた半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】実施形態にかかる半導体装置の製造方法は、シリコンを含む半導体基板に一対の素子分離絶縁膜を形成し、一対の素子分離絶縁膜に挟まれた半導体基板の上面に、ゲート絶縁膜及びシリコンを含むゲート電極からなるゲート電極構造と、ゲート電極構造の側面を覆うゲート側壁膜とを形成し、ゲート電極構造を挟むように、半導体基板に拡散層を形成し、F、Cl、Br、I、H、O、Ar、Nのいずれかの原子を有するガス雰囲気において、半導体基板にマイクロ波を照射し、拡散層の上面及びゲート電極の上面に生成した酸化膜を選択的に除去し、拡散層の上面及びゲート電極の上面に金属膜を形成し、熱処理を行うことにより、シリサイド膜を形成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
シリコンを含む半導体基板に一対の素子分離絶縁膜を形成し、 前記一対の素子分離絶縁膜に挟まれた前記半導体基板の上面に、ゲート絶縁膜及びシリコンを含むゲート電極からなるゲート電極構造と、前記ゲート電極構造の側面を覆うゲート側壁膜とを形成し、 前記ゲート電極構造を挟むように、前記半導体基板に拡散層を形成し、 F、Cl、Br、I、H、O、Ar、Nのいずれかの原子を有するガス雰囲気において、前記半導体基板にマイクロ波を照射し、前記拡散層の上面及び前記ゲート電極の上面に生成した酸化膜を選択的に除去し、 前記拡散層の上面及び前記ゲート電極の上面に金属膜を形成し、熱処理を行うことにより、シリサイド膜を形成する、 ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
IPC (5件)：
H01L 21/336 ,  H01L 29/78 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/306
FI (5件)：
H01L29/78 301P ,  H01L21/28 A ,  H01L21/28 301S ,  H01L21/90 C ,  H01L21/302 102
Fターム (95件)：
4M104AA01 ,  4M104AA03 ,  4M104AA09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB14 ,  4M104BB19 ,  4M104BB20 ,  4M104BB21 ,  4M104BB22 ,  4M104BB23 ,  4M104BB24 ,  4M104BB25 ,  4M104BB26 ,  4M104BB27 ,  4M104BB28 ,  4M104BB40 ,  4M104DD08 ,  4M104DD16 ,  4M104DD22 ,  4M104DD23 ,  4M104DD78 ,  4M104DD84 ,  4M104FF14 ,  4M104FF17 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104GG14 ,  4M104HH04 ,  5F004AA14 ,  5F004BB14 ,  5F004DA00 ,  5F004DA17 ,  5F004DA20 ,  5F004DA24 ,  5F004DB03 ,  5F004EB08 ,  5F004FA03 ,  5F033HH04 ,  5F033HH25 ,  5F033HH26 ,  5F033HH27 ,  5F033HH28 ,  5F033HH29 ,  5F033HH30 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK01 ,  5F033LL04 ,  5F033MM07 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ15 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ70 ,  5F033QQ92 ,  5F033QQ94 ,  5F033QQ96 ,  5F033QQ98 ,  5F033RR04 ,  5F033XX09 ,  5F033XX28 ,  5F140AA24 ,  5F140BA01 ,  5F140BF04 ,  5F140BF11 ,  5F140BF18 ,  5F140BG08 ,  5F140BG09 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG27 ,  5F140BG34 ,  5F140BG37 ,  5F140BG46 ,  5F140BH14 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ07 ,  5F140BJ08 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ17 ,  5F140BJ20 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK02 ,  5F140BK23 ,  5F140BK34 ,  5F140CB04 ,  5F140CC01 ,  5F140CC03 ,  5F140CC08 ,  5F140CE10 ,  5F140CF04

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