特許
J-GLOBAL ID：201303097072411740
インターポーザ用基板の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-143264
公開番号（公開出願番号）：特開2013-010651
出願日： 2011年06月28日
公開日（公表日）： 2013年01月17日
要約：
【課題】薄いガラス基板を使用しても、割れや欠けが生じにくいインターポーザ基板の製造方法を提供する。【解決手段】(a)第1および第2の表面を有するガラス基板を準備する工程と、(b)前記ガラス基板の第1の表面側に、第1の固定部材を配置し、第2の表面側に、第2の固定部材を配置する工程であって、前記第1の固定部材は、前記ガラス基板の第1の表面と当接する第1の当接部分、および前記ガラス基板の第1の表面と当接しない第1の非当接部分を有し、前記第2の固定部材は、前記ガラス基板の第2の表面と当接する第2の当接部分、および前記ガラス基板の第2の表面と当接しない第2の非当接部分を有する、工程と、(c)第1の非当接部分および第2の非当接部分を通るようにして、前記ガラス基板にレーザ光を照射し、前記ガラス基板に、少なくとも一つの貫通孔を形成する工程と、を含む製造方法。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
少なくとも一つの貫通孔を有するインターポーザ用基板の製造方法であって、
(a)第1の表面および第2の表面を有するガラス基板を準備する工程と、
(b)前記ガラス基板の第1の表面側に、第1の固定部材を配置し、前記ガラス基板の第2の表面側に、第2の固定部材を配置する工程であって、
前記第1の固定部材は、前記ガラス基板の第1の表面と当接する第1の当接部分、および前記ガラス基板の第1の表面と当接しない第1の非当接部分を有し、
前記第2の固定部材は、前記ガラス基板の第2の表面と当接する第2の当接部分、および前記ガラス基板の第2の表面と当接しない第2の非当接部分を有する、工程と、
(c)前記第1の固定部材の第1の非当接部分および前記第2の固定部材の第2の非当接部分を通るようにして、前記ガラス基板にレーザ光を照射し、これにより前記ガラス基板に、少なくとも一つの貫通孔を形成する工程と、
を含む製造方法。
IPC (7件)：
C03B 33/02
, B23K 26/10
, B23K 26/38
, B23K 26/00
, C03B 33/09
, H01L 23/15
, H01L 23/14
C03B33/02
, B23K26/10
, B23K26/38 330
, B23K26/00 H
, C03B33/09
, H01L23/14 C
, H01L23/14 Z
4E068AF02
, 4E068CE09
, 4E068DA09
, 4E068DB13
, 4G015FA09
, 4G015FB01
, 4G015FB02
, 4G015FC02
, 4G015FC10
, 4G015FC14
