特許
J-GLOBAL ID：201303097284845775

液体供給装置

発明者：
坂井 孝浩

坂井 孝浩 について


出願人/特許権者：
アドバンス電気工業株式会社

アドバンス電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 後藤 憲秋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-200447
公開番号（公開出願番号）：特開2013-059735
出願日： 2011年09月14日
公開日（公表日）： 2013年04月04日
要約：
【課題】構造の簡素化と流通させる液体の清浄度向上との両立を図り、液体の供給停止後に生じる使用部における液垂れを抑制することができる新たな構造を備えた液体供給装置を提供する。【解決手段】液体の供給部10と、液体の使用部20と、供給部から使用部へ液体を流通させる供給配管部30とを有する液体供給装置1Aであって、供給配管部は、供給部側から供給される液体を流通させる主配管部31と、主配管部に接続されるアスピレータ50と、アスピレータにより分岐され使用部側に液体を供給する使用側配管部32及び副配管部33と、副配管部に接続され開閉機能を有する弁16とを備えており、アスピレータの主流路側に主配管部及び副配管部が接続され、アスピレータの吸引流路側に使用側配管部が接続される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
液体の供給部と、液体の使用部と、前記供給部から前記使用部へ液体を流通させる供給配管部とを有する液体供給装置であって、 前記供給配管部は、前記供給部側から供給される液体を流通させる主配管部と、前記主配管部に接続されるアスピレータと、前記アスピレータにより分岐され前記使用部側に液体を供給する使用側配管部及び副配管部と、前記副配管部に接続され開閉機能を有する弁とを備えており、 前記アスピレータの主流路側に前記主配管部及び前記副配管部が接続され、前記アスピレータの吸引流路側に前記使用側配管部が接続されている ことを特徴とする液体供給装置。
IPC (2件)：
B01J 4/00 ,  H01L 21/304
FI (2件)：
B01J4/00 103 ,  H01L21/304 648K
Fターム (32件)：
4G068AA01 ,  4G068AB11 ,  4G068AC05 ,  4G068AC13 ,  4G068AC14 ,  4G068AD21 ,  4G068AD40 ,  4G068AF01 ,  4G068AF03 ,  4G068AF17 ,  4G068AF31 ,  4G068AF40 ,  5F157AB02 ,  5F157AB14 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157AC01 ,  5F157BB22 ,  5F157BB35 ,  5F157BB39 ,  5F157CC41 ,  5F157CE10 ,  5F157CE11 ,  5F157CF04 ,  5F157CF14 ,  5F157CF42 ,  5F157CF60 ,  5F157CF74 ,  5F157DA21 ,  5F157DB02 ,  5F157DB37 ,  5F157DC90
引用特許：
審査官引用 (8件)
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