特許

J-GLOBAL ID：201303098138518300

形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及びそのプログラム

発明者： 神藤 建太
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-105436
公開番号（公開出願番号）：特開2013-234854
出願日： 2012年05月02日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：

【課題】測定対象の3次元形状を示す点群データの抽出領域を任意の形状で設定する。【解決手段】形状測定装置は、測定対象を撮像した撮像画像を生成する撮像部と、撮像部によって撮像される撮像画像が、測定対象にパターンが投影された画像として撮像されるように、撮像部が撮像している方向と異なる方向から、パターンを測定対象に投影する投影部と、撮像部が生成した撮像画像内の領域の中から抽出領域を設定する際に、抽出領域を設定するための情報に基づいて、複数の設定可能な形状のいずれかから抽出領域を設定する抽出領域設定部と、撮像部が生成した撮像画像内の抽出領域の撮像画像に基づいて、測定対象の三次元形状を示す点群データを生成する生成部とを備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

測定対象を撮像した撮像画像を生成する撮像部と、 前記撮像部によって撮像される撮像画像が、前記測定対象にパターンが投影された画像として撮像されるように、前記撮像部が撮像している方向と異なる方向から、前記パターンを前記測定対象に投影する投影部と、 前記撮像部が生成した前記撮像画像内の領域の中から抽出領域を設定する際に、前記抽出領域を設定するための情報に基づいて、複数の設定可能な形状のいずれかから前記抽出領域を設定する抽出領域設定部と、 前記撮像部が生成した前記撮像画像内の前記抽出領域の前記撮像画像に基づいて、前記測定対象の三次元形状を示す点群データを生成する生成部と を備える形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/25 ,  G06T 1/00

FI (2件)：

G01B11/25 H ,  G06T1/00 300

Fターム (33件)：

2F065AA04 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC05 ,  2F065CC08 ,  2F065DD12 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF17 ,  2F065FF64 ,  2F065FF66 ,  2F065FF67 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ36 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA13 ,  5B057CA16 ,  5B057CC03 ,  5B057DA07 ,  5B057DA08 ,  5B057DC03 ,  5B057DC05 ,  5B057DC08 ,  5B057DC22