特許

J-GLOBAL ID：201303098727990737

容量式物理量センサ

発明者： 椿 弘一
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 特許業務法人 サトー国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-184147
公開番号（公開出願番号）：特開2013-019906
出願日： 2012年08月23日
公開日（公表日）： 2013年01月31日
要約：

【課題】全体の大形化を抑えながらも、外部応力に起因する可動電極部の変形を効果的に防止する。【解決手段】支持基板2上に絶縁層3を介して設けられた単結晶シリコン層4に溝を形成することにより、可動電極部6及び固定電極部7,8からなるセンサエレメント5を設ける。可動電極部6は、錘部6aから櫛歯状に延びる可動電極6dを有し、錘部6aの前後両端部に梁部6bを有すると共に、前端側に第1のアンカ部6cを有している。アンカ部6cの上面に、アルミ製の電極パッド9を設ける。アンカ部6cに、応力遮断用の2本のスリット12を単結晶シリコン層4全体が除去される深さで形成する。各スリット12は、アンカ部6cの左右の両側縁部から、電極パッド9の左右両端縁部を延ばした仮想延長線を横切る位置まで内側に延びている。スリット幅寸法cを5μm以上とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持基板上に、可動電極部と固定電極部とを有するセンサエレメントを設けて構成される容量式物理量センサであって、 前記可動電極部は、前記支持基板に固定支持され上面に電極パッドが設けられたアンカ部と、このアンカ部に、前記支持基板上に浮いた状態の梁部を介して支持され物理量の作用に応じて変位する可動電極とを一体的に有して構成されていると共に、 前記アンカ部は、前記梁部と電極パッドとの離間距離が、100μm以上となるように設けられていることを特徴とする容量式物理量センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00

FI (3件)：

G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00

Fターム (20件)：

3C081AA07 ,  3C081AA11 ,  3C081BA07 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA76 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA34 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112FA05 ,  4M112GA03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 半導体力学量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-105162   出願人：株式会社デンソー
• 力学量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-199125   出願人：株式会社デンソー