特許

J-GLOBAL ID：201303098960985565

照明、検査装置及び基板の製造方法

発明者： 井戸 勝也
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (6件)： 大森 純一 ,  折居 章 ,  中村 哲平 ,  吉田 望 ,  金子 彩子 ,  金山 慎太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-070915
公開番号（公開出願番号）：特開2013-205041
出願日： 2012年03月27日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：

【課題】正確な平行光を得ることができる照明などの技術を提供する。【解決手段】照明20は、光源21と、ハニカム構造体27とを具備する。前記ハニカム構造体27は、前記光源からの光が入射される入射面27aを有し、前記入射面から入射された光のうち平行な成分の光以外の光をカットし、平行な成分の光を出射する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光源と、 前記光源からの光が入射される入射面を有し、前記入射面から入射された光のうち平行な成分の光以外の光をカットし、平行な成分の光を出射するハニカム構造体と を具備する照明。

IPC (2件)：

G01N 21/84 ,  G01N 21/956

FI (2件)：

G01N21/84 E ,  G01N21/956 B

Fターム (9件)：

2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06