特許

J-GLOBAL ID：201303099023796990

試料の作製装置,作製方法、及びそれを用いた荷電粒子線装置

発明者： 竹内 秀一 ,  高須 久幸 ,  金子 朝子
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-145161
公開番号（公開出願番号）：特開2013-011540
出願日： 2011年06月30日
公開日（公表日）： 2013年01月17日
要約：

【課題】荷電粒子線装置に新たに別の装置を設けることなく、真空状態において試料の加工,観察,追加工を行う装置及び方法を提供する。【解決手段】荷電粒子線装置の真空室内にイオン液体を充填した液体浴と超音波振動手段を配置し、イオン液体と試料の加工対象領域が接触した状態において、イオン液体中に超音波振動を伝搬させて試料を加工する。【効果】荷電粒子線装置に新たに別の装置を設けることなく、真空状態において試料の加工,観察,追加工ができるため、スループットを向上させるとともに、大気の影響を防止する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

荷電粒子を試料に照射する電子光学系と、 前記試料から放出される荷電粒子を検出する検出系と、 真空室を備えた荷電粒子線装置において、 前記真空室は、 液体を収容する液体浴と、 超音波振動を発生する超音波振動機構を備え、 前記超音波振動機構は、 当該液体浴内の液体中に超音波振動を伝搬することを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (2件)：

G01N 23/225 ,  G01N 1/28

FI (3件)：

G01N23/225 ,  G01N1/28 F ,  G01N1/28 G

Fターム (21件)：

2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA10 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001EA04 ,  2G001FA06 ,  2G001GA06 ,  2G001HA09 ,  2G001MA02 ,  2G001PA07 ,  2G001PA11 ,  2G052AA13 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052DA33 ,  2G052EC14 ,  2G052EC18 ,  2G052GA35 ,  2G052JA04 ,  2G052JA07