特許
J-GLOBAL ID：201303099127286579
三次元形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-064934
公開番号（公開出願番号）：特開2013-190406
出願日： 2012年03月22日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
要約：
【課題】1枚の画像から被測定物の位相遅延分布画像を求めることができる三次元形状測定装置であって、単純な光学系を有する三次元形状測定装置を提供する。【解決手段】三次元形状測定装置1は、コヒーレント光源10と、ランダム位相変調光学系11と、設置台12と、フーリエ変換光学系13と、撮像素子14と、演算部15とを備える。ランダム位相変調光学系11は、コヒーレント光を二次元的にランダム位相変調し、二次元的にランダム位相変調された平面光を生成する。フーリエ変換光学系13は、被測定物16を透過した光を光学フーリエ変換することにより光強度分布画像を生成させる。撮像素子14は、光強度分布画像を撮像する。演算部15は、撮像された光強度分布画像から被測定物16の位相情報を演算する。演算部15は、位相情報から被測定物16の三次元形状を算出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
コヒーレント光を出射するコヒーレント光源と、
前記コヒーレント光を二次元的にランダム位相変調し、二次元的にランダム位相変調された平面光を生成するランダム位相変調光学系と、
前記二次元的にランダム位相変調された平面光が透過するように被測定物が設置される設置台と、
前記被測定物を透過した光を光学フーリエ変換することにより光強度分布画像を生成させるフーリエ変換光学系と、
前記光強度分布画像を撮像する撮像素子と、
前記撮像された光強度分布画像から前記被測定物の位相情報を演算し、前記位相情報から前記被測定物の三次元形状を算出する演算部と、
を備える、三次元形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (25件)：
2F065AA30
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065CC16
, 2F065FF54
, 2F065GG04
, 2F065GG15
, 2F065GG23
, 2F065HH07
, 2F065HH13
, 2F065HH15
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL21
, 2F065PP11
, 2F065QQ00
, 2F065QQ03
, 2F065QQ16
, 2F065UU02
, 2H052AA03
, 2H052AC05
, 2H052AF03
, 2H052AF14
, 2H052AF25
