特許
J-GLOBAL ID：201303099400721496
物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
布施 行夫
, 大渕 美千栄
, 永田 美佐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-085867
公開番号（公開出願番号）：特開2013-217668
出願日： 2012年04月04日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：
【課題】スプリアスの発生を抑制し、かつ検出感度を高めることが可能な物理量検出デバイスを提供する。【解決手段】物理量検出デバイス100は、基部10と、基部10に継ぎ手部12を介して設けられており、物理量に応じて変位する可動部14と、前記変位方向の平面視において基部10から可動部14に掛け渡されている物理量検出素子20と、を含み、物理量検出素子20は、基部10と可動部14とに設けられている溝部30内に配置されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基部と、
前記基部に継ぎ手部を介して設けられており、物理量に応じて変位する可動部と、
前記変位方向の平面視において前記基部から前記可動部に掛け渡されている物理量検出素子と、
を含み、
前記物理量検出素子は、前記基部と前記可動部とに設けられている溝部内に配置されている、物理量検出デバイス。
IPC (4件)：
G01P 15/10
, H01L 41/08
, H01L 41/18
, H01L 41/187
G01P15/10
, H01L41/08 Z
, H01L41/18 101A
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101B
