特許
J-GLOBAL ID：201303099689049642
固体撮像装置、及び固体撮像装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-227773
公開番号（公開出願番号）：特開2013-088557
出願日： 2011年10月17日
公開日（公表日）： 2013年05月13日
要約：
【課題】新規な構造のカラーフィルターにおいてクロストーク(混色)を改善する。【解決手段】1つの実施形態によれば、固体撮像装置において、カラーフィルターは、多層干渉フィルターと導波モード共鳴格子とを有する。多層干渉フィルターでは、第1の層と第2の層とが交互に積層されている。第1の層と第2の層とは、互いに屈折率が異なる。導波モード共鳴格子は、多層干渉フィルターの上方又は下方に配されている。導波モード共鳴格子は、複数の回折格子と複数の格子間領域とを有する。複数の回折格子は、第1の屈折率を有する材料でそれぞれ形成されている。複数の回折格子は、少なくとも1次元的に周期的に配列されている。複数の格子間領域は、少なくとも複数の回折格子の間に配されている。複数の格子間領域のそれぞれは、絶縁膜領域とエアギャップ領域とを有する。絶縁膜領域は、第2の屈折率を有する材料で形成されている。第2の屈折率は、第1の屈折率より低い。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1の光電変換層と、
前記第1の光電変換層の上方に配されたカラーフィルターと、
を備え、
前記カラーフィルターは、
互いに屈折率の異なる第1の層と第2の層とが交互に積層された多層干渉フィルターと、
前記多層干渉フィルターの上方又は下方に配された導波モード共鳴格子と、
を有し、
前記導波モード共鳴格子は、
第1の屈折率を有する材料で形成され、少なくとも1次元的に周期的に配列された複数の回折格子と、
少なくとも前記複数の回折格子の間に配された複数の格子間領域と、
を有し、
前記複数の格子間領域は、
前記第1の屈折率より低い第2の屈折率を有する材料で形成された絶縁膜領域と、
エアギャップ領域と、
を有し、
前記格子間領域の体積に占める前記エアギャップ領域の体積の割合は、50%以上90%以下である
ことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B5/20 101
, H01L27/14 D
2H048BA03
, 2H048BA53
, 2H048BB02
, 2H048BB03
, 2H048BB06
, 2H048BB46
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118FA06
, 4M118GA02
, 4M118GC08
, 4M118GC17
, 4M118GD04
