感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、該組成物を用いた感活性光線性又は感放射線性膜、及び、パターン形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高松猛 , 尾澤俊之 , 長谷川博道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-180895
公開番号（公開出願番号）：特開2013-044810
出願日： 2011年08月22日
公開日（公表日）： 2013年03月04日
要約：

【課題】高感度、優れた露光ラチチュード、及び、優れたラインエッジラフネス性能を高次元で鼎立可能な感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、該組成物を用いた感活性光線性又は感放射線性膜、及び、パターン形成方法の提供。【解決手段】(A)下記一般式(1-1)により表される化合物を含有する、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。式中、R1は、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、脂肪族環式基、芳香族炭化水素基、又は複素環式基を表す。R2は、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アルケニル基、脂肪族環式基、芳香族炭化水素基、複素環式基、シアノ基、又は、アルコキシカルボニル基を表す。R3は、1つ以上の-CH2-基が、エーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、ウレタン基、又は、ウレア基により置換されていても良い、アルキレン基を表す。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1-1)により表される化合物を含有する、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 , G03F 7/039 , H01L 21/027 , C07D 333/46 , C07D 333/76

FI (6件)：

G03F7/004 503A , G03F7/039 601 , G03F7/004 501 , H01L21/30 502R , C07D333/46 , C07D333/76

Fターム (54件)：

2H125AF17P , 2H125AF18P , 2H125AF19P , 2H125AF20P , 2H125AF21P , 2H125AF36P , 2H125AF38P , 2H125AF45P , 2H125AF70P , 2H125AH12 , 2H125AH14 , 2H125AH15 , 2H125AH16 , 2H125AH17 , 2H125AH19 , 2H125AH22 , 2H125AH24 , 2H125AH29 , 2H125AJ14X , 2H125AJ16Y , 2H125AJ37Y , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AJ68X , 2H125AJ69X , 2H125AL03 , 2H125AL11 , 2H125AM12P , 2H125AM13P , 2H125AM22P , 2H125AM27P , 2H125AM30P , 2H125AM66P , 2H125AM86P , 2H125AM94P , 2H125AM99P , 2H125AN08P , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN42P , 2H125AN54P , 2H125AN65P , 2H125BA01P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125BA32P , 2H125BA33P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125FA03 , 4H006AA03 , 4H006AB99

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