特許

J-GLOBAL ID：201303099910018730

レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明者： 市川 幸司 ,  安江 崇裕
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-143152
公開番号（公開出願番号）：特開2013-041256
出願日： 2012年06月26日
公開日（公表日）： 2013年02月28日
要約：

【課題】優れたラインエッジラフネス(LER)で、且つ、欠陥の発生が少ないレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供する。【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂(但し、式(I)で表される構造単位を含まない)、酸発生剤、式(II)で表される化合物を含むレジスト組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(I)で表される構造単位を有する樹脂、 アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂(但し、式(I)で表される構造単位を含まない)、 酸発生剤及び 式(II)で表される化合物を含有するレジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/28

FI (4件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F20/28

Fターム (48件)：

2H125AE13P ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF26P ,  2H125AF38P ,  2H125AF41P ,  2H125AF45P ,  2H125AF70P ,  2H125AH04 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH23 ,  2H125AH24 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AM22P ,  2H125AM99P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN45P ,  2H125AN65P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4J100AL08P ,  4J100BA10P ,  4J100BA15P ,  4J100BA20P ,  4J100BB12P ,  4J100BC02P ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100DA01 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38