特許
J-GLOBAL ID:201303099922608215
カーボンナノチューブ配向集合体の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-038432
公開番号(公開出願番号):特開2013-173639
出願日: 2012年02月24日
公開日(公表日): 2013年09月05日
要約:
【課題】 単位面積当たりのCNT収量が高く基材表面全面に均一なCNT配向集合体を製造することができるCNT配向集合体の製造方法を提供する。【解決手段】 カーボンナノチューブの成長の触媒の層である触媒層を表面に有する基材上に、カーボンナノチューブの原料ガスを供給してカーボンナノチューブ配向集合体を成長させるカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法であって、前記基材がコルゲート形状を有し、前記基材に対向する位置に複数配列した噴射口から、前記基材のコルゲート形状の溝の深さ方向に前記原料ガスを噴射する成長工程を含む製造方法によりカーボンナノチューブ配向集合体を製造する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
カーボンナノチューブの成長の触媒の層である触媒層を表面に有する基材上に、カーボンナノチューブの原料ガスを供給してカーボンナノチューブ配向集合体を成長させるカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法であって、
前記基材がコルゲート形状を有し、
前記基材に対向する位置に複数配列した噴射口から、前記基材のコルゲート形状の溝の深さ方向に前記原料ガスを噴射する成長工程を含むこと
を特徴とするカーボンナノチューブ配向集合体の製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (23件):
4G146AA11
, 4G146AB06
, 4G146AC09B
, 4G146AC16B
, 4G146AC22B
, 4G146AC27B
, 4G146AD05
, 4G146BA12
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC23
, 4G146BC26
, 4G146BC33B
, 4G146BC37B
, 4G146BC42
, 4G146BC44
, 4G146DA03
, 4G146DA12
, 4G146DA23
, 4G146DA26
, 4G146DA27
, 4G146DA43
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