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J-GLOBAL ID：201306028880881052

AFM利用パターンニング

電子素子
同義語 (1件)：

AFMパターン形成 (Atomic Force Microscope patterning)
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関連語 (6件)：

リソグラフィー (lithography)
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走査 (scanning)
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半導体チップ (semiconductor chip)
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上位語 (1件)：

パターン形成 (pattern formation)
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