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J-GLOBAL ID:201306033385314692
量子リソグラフィー
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用語の主な分野です
電子素子
関連語 (3件):
半導体
(semiconductor)
半導体 について
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量子論
(quantum theory)
量子論 について
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微細加工
(fine patterning)
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上位語 (1件):
フォトリソグラフィー
(photolithography)
フォトリソグラフィー について
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