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J-GLOBAL ID:201306039353139048
サーフェイスマイクロマシニング
主題カテゴリー:
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用語の主な分野です
電子素子
同義語 (1件):
表面マイクロマシニング
(surface micromachining)
表面マイクロマシニング について
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関連語 (2件):
表面
(surface)
表面 について
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MEMS
MEMS について
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上位語 (1件):
マイクロマシニング
(micromachining)
マイクロマシニング について
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