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J-GLOBAL ID:201306077197053463
ナノインジェクションリソグラフィー
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用語の主な分野です
電子素子
関連語 (4件):
ナノ構造
(nanostructure)
ナノ構造 について
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パターン形成
(pattern formation)
パターン形成 について
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微細加工
(fine patterning)
微細加工 について
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噴射
(injection (jet))
噴射 について
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上位語 (1件):
リソグラフィー
(lithography)
リソグラフィー について
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