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J-GLOBAL ID：201402201568936970   整理番号：14A0718251

サブミクロンギャップを有するMEMS可変メタマテリアルの製作と設計

Design and Fabrication of MEMS Tunable Metamaterials with Sub-micron Gap

著者 (9件)： 磯崎瑛宏 (東大) ,  菅哲朗 (東大) ,  高橋英俊 (東大) ,  根本夏紀 (東大) ,  小西邦昭 (東大) ,  五神真 (東大) ,  松本潔 (東大) ,  下山勲 (東大) ,  神田夏輝 (理研)
資料名： 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： MSS-14  号： 1-4.6-23  ページ： 71-75  発行年： 2014年05月27日 
JST資料番号： L2898B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 接近配置された二つのスプリットリング共振器(SRR)でカップリング現象により共振周波数が変化することに着目し片持ち梁支持でサブミクロンオーダの距離が可変であるメタマテリアルを提案し有効性を示した。従来手法の基板面内変位機構によるSRR駆動ではSRR素子間の衝突や吸着が避けられないことを示した。空気圧による駆動により片持ち梁構造の上下に圧力差を生じさせて梁先端を上下させ圧力がかかっていない時のサブミクロンから数マイクロ程度まで変位する動作原理を示した。電磁界シミュレーションと構造シミュレーションを示した。2度の直接電子線描画プロセスによりSRR間距離が200nmのメタマテリアルを作製し駆動実験により6μmまで制御できることを確認した。

シソーラス用語： *人工材料 ,  *光学材料 ,  *MEMS ,  *サブミリ波 ,  *リング共振器 ,  共振周波数 ,  *片持梁 ,  基板 ,  変位 ,  数値解析 ,  電子ビームリソグラフィー ,  パターン形成 ,  ばね定数 ,  *光学素子 ,  テラヘルツ波
準シソーラス用語： メタマテリアル ,  テラヘルツ ,  スプリットリング共振器 ,  面内変位 ,  電磁界シミュレーション

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

引用文献 (9件)：

• I. Yamada, K. Takano, M. Hangyo, M. Saito, and W. Watanabe, “Terahertz wire-grid polarizers with micrometer-pitch Al gratings,“ Optics Letters 34, 274-276 (2009).
• M. Nagai, N. Mukai, Y. Minowa, M. Ashida, J. Takayanagi, and H. Ohtake, “Achromatic THz wave plate composed of stacked parallel metal plates,“ Optics Letters 39, 146-149 (2014).
• H.-T. Chen, J. F. O'Hara, A. K. Azad, A. J. Taylor, R. D. Averitt, D. B. Shrekenhamer, and W. J. Padilla, “Experimental demonstration of frequency-agile terahertz metamaterials,“ Nature Photonics 2, 295-298 (2008).
• Y. H. Fu, A. Q. Liu, W. M. Zhu, X. M. Zhang, D. P. Tsai, J. B. Zhang, T. Mei, J. F. Tao, H. C. Guo, X. H. Zhang, J. H. Teng, N. I. Zheludev, G. Q. Lo, and D. L. Kwong, “A Micromachined Reconfigurable Metamaterial via Reconfiguration of Asymmetric Split-Ring Resonators,“ Advanced Functional Materials 21, 3589-3594 (2011).
• H. Tao, A. C. Strikwerda, K. Fan, W. J. Padilla, X. Zhang, and R. D. Averitt, “Reconfigurable Terahertz Metamaterials,“ Physical Review Letters 103, 14740 (2009).

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  可変 ,  メタマテリアル ,  製作 ,  設計