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J-GLOBAL ID：201402201961334982   整理番号：14A0091255

多重フォークZ軸石英微細加工ジャイロスコープ

A Multi-Fork Z-Axis Quartz Micromachined Gyroscope

著者 (6件)： FENG Lihui (Beijing Inst. of Technol., Beijing, CHN) ,  ZHAO Ke (Beijing Inst. of Technol., Beijing, CHN) ,  SUN Yunan (Beijing Inst. of Technol., Beijing, CHN) ,  CUI Jianmin (Beijing Inst. of Technol., Beijing, CHN) ,  CUI Fang (Beijing Inst. of Technol., Beijing, CHN) ,  YANG Aiying (Beijing Inst. of Technol., Beijing, CHN)
資料名： Sensors (Web)  (Sensors (Web))
巻： 13  号： 9  ページ： 12482-12496 (WEB ONLY)  発行年： 2013年09月 
JST資料番号： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文では,新しい多重フォークz軸ジャイロスコープを提案した。従来の石英ジャイロスコープと異なり,センサビームの横方向電極は,簡単なパターンに配列できるので製作が単純化できる。多重フォーク設計により高感度を実現した。作動原理を導入し,一方で有限要素法を使って様式と感度をシミュレーションした。石英フォークを作成して,原型を組み立てた。インピーダンステストから,駆動周波数と検知周波数がシミュレーション結果に類似し,また品質因子が空気中で約10000であることが分かった。スケール因子の測定結果は18.34mV/(°/s)であり,また全スケール入力域±250°/sにおけ非線形性は0.40%であった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ジャイロスコープ ,  *フォーク ,  *高感度 ,  設計 ,  有限要素法 ,  計算機シミュレーション ,  因子 ,  *スケール因子
準シソーラス用語： 多重フォーク ,  品質因子

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 多重 ,  フォーク ,  z軸 ,  石英 ,  微細加工 ,  ジャイロスコープ