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文献
J-GLOBAL ID:201402202876270424   整理番号:14A0536089

微細形状測定のための非接触静電気力顕微鏡に関する研究-形状測定の高速・高精度化のための走査方式の検討-

著者 (5件):
資料名:
巻: 2014  号: 春季(CD-ROM)  ページ: ROMBUNNO.A07  発行年: 2014年03月01日 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本研究ではマイクロ構造物の表面ナノ形状を測定するための非接触静電気力顕微鏡の開発に取り組んでいる。探針と試料表面の間に作用する静電気力の力勾配に基づいて探針-試料間距離を算出し,試料表面形状の非接触測定を行う。本報では測定精度の向上と測定時間の短縮のための探針位置制御と探針-試料間距離算出のアルゴリズムの最適化について報告する。(著者抄録)
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  ,  顕微鏡法 

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