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J-GLOBAL ID：201402203828451545   整理番号：14A0508720

高速薄膜をもつLiNbO₃上の縦型漏れ弾性表面波

Longitudinal-Type Leky Surface Acoustic Wave on LiNbO₃ with High-Velocity Thin Film

著者 (4件)： MATSUKURA Fumiya (Univ. Yamanashi, Yamanashi, JPN) ,  UEMATSU Masato (Univ. Yamanashi, Yamanashi, JPN) ,  HOSAKA Keiko (Univ. Yamanashi, Yamanashi, JPN) ,  KAKIO Shoji (Univ. Yamanashi, Yamanashi, JPN)
資料名： IEEE International Ultrasonics Symposium  (IEEE International Ultrasonics Symposium)
巻： 2013 Vol.3  ページ： 1692-1695  発行年： 2013年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1948-5719  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 縦型漏れ弾性表面波(LLSAW)は高周波数SAWデバイスの応用に対して,その縦バルク波に近い高位相速度のおかげで,大きな関心が持たれている。本稿では,高速薄膜として窒化アルミニウム(AlN)薄膜を採用し,X36°Y-LN基板上のLLSAWの伝搬特性を理論的および実験的に研究した。最初にRFマグネトロンスパッタリングにより蒸着されたAlN薄膜の弾性定数を,測定されたRayleigh型SAW(R-SAW)の位相速度から決定した。次に,決定した弾性定数を用いてAlN薄膜をX36°Y-LN基板上に装着し,LLSAWの伝搬特性を計算して,メタライズされた界面に対して測定を行った。薄膜厚さが0.25λの時,測定した伝搬損失は,薄膜をもたないサンプルの0.03dB/λに対して0.28dB/λ低減した。

シソーラス用語： *ニオブ酸リチウム ,  *窒化アルミニウム ,  *弾性表面波 ,  *漏れ波 ,  音波 ,  位相速度 ,  伝搬特性 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  弾性係数
準シソーラス用語： AlN ,  LiNbO₃ ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  バルク波 ,  弾性定数

分類 (2件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (3件)： 薄膜 ,  縦型 ,  弾性表面波