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J-GLOBAL ID：201402204214532588   整理番号：14A0057582

酸化チタン薄膜の結晶構造,バンドギャップ,および,分散発展の研究

Study of the crystal structure, band gap and dispersion evolution in titanium oxide thin films

著者 (9件)： ZHANG Fan (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  ZHANG Rong-Jun (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  ZHENG Yu-Xiang (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  XU Zi-Jie (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  ZHANG Dong-Xu (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  WANG Zi-Yi (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  XU Ji-Ping (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  WANG Song-You (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  CHEN Liang-Yao (Fudan Univ., Shanghai, CHN)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 210  号： 11  ページ： 2374-2378  発行年： 2013年11月 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二酸化チタン薄膜は,非常に広範な応用範囲を持っている。特に,二酸化チタンが示す大きな屈折率とバンドギャップ,および,高い化学的安定性は,この物質が,太陽電池のための光電極,水質純化のための触媒,反射防止膜などへの応用に適していることを示している。本論文では,結晶シリコン上に作製した酸化チタン薄膜の,結晶構造,バンドギャップ,光学定数におよぼす急速熱処理効果と膜厚依存性について報告する。実験には,X線回折,角度可変楕円偏光分析を用いた。膜厚が増大すると,結晶品質が改善され,格子間隔と結晶粒径サイズが増大することがわかった。また,バンドギャップをForouhi-Bloomerの分散モデルから導き,バンドギャップが膜厚とともに増大することを明らかにした。この現象が,量子閉じ込め効果と無秩序効果により説明できることを示した。

シソーラス用語： *酸化チタン ,  酸化物 ,  *薄膜 ,  *結晶構造 ,  *バンドギャップ ,  分散【dispersion】 ,  電子ビーム蒸着 ,  RTA【熱処理】 ,  X線回折 ,  量子閉込め ,  屈折率
準シソーラス用語： 酸化物薄膜 ,  急速熱処理

分類 (2件)： 半導体結晶の電子構造  (BM02060N) ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 酸化チタン薄膜 ,  結晶構造 ,  バンドギャップ ,  発展 ,  研究