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J-GLOBAL ID：201402204228269219   整理番号：14A0970508

小金属フリンジコンデンサの不整合キャラクタリゼーション

Mismatch Characterization of Small Metal Fringe Capacitors

著者 (2件)： TRIPATHI Vaibhav (Stanford Univ., CA, USA) ,  MURMANN Boris (Stanford Univ., CA, USA)
資料名： IEEE Transactions on Circuits and Systems 1: Regular Papers  (IEEE Transactions on Circuits and Systems 1: Regular Papers)
巻： 61  号： 8  ページ： 2236-2242  発行年： 2014年08月 
JST資料番号： C0226B  ISSN： 1549-8328  CODEN： ITCSCH  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 先端CMOSプロセスにおける小金属フリンジ容量のキャラクタリゼーションのためのテスト構造を述べた。提案したテスト構造の顕著な特徴は,アナログ入力を含まず,不整合情報を含む純粋にディジタルな出力ビットストリームをもち,したがって,機器不正確性及び雑音のようなエラーの源を排除した。各チップに関して,72テスト構造を測定した。得られた結果は,小さい形状にかかわらず,良好な整合を確認した。さらに,整合改善が,Pelgromの面積スケーリング式に従っていることが分かった。

シソーラス用語： *AD変換 ,  *静電容量 ,  *電気測定 ,  *不整合 ,  *テスト構造 ,  *CMOS構造 ,  逐次近似 ,  レジスタ ,  AD変換器 ,  *DA変換器 ,  標準偏差 ,  面積 ,  スケーリング【計数】
準シソーラス用語： MOM容量 ,  ビットストリーム ,  静電容量測定 ,  容量不整合

分類 (2件)： AD・DA変換回路  (NC05080M) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (3件)： コンデンサ ,  不整合 ,  キャラクタリゼーション