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J-GLOBAL ID：201402204256095978   整理番号：14A1457536

大気圧プラズマ蒸着したヘキサフルオロベンゼンフルオロカーボン膜の研究

Investigation of atmospheric-pressure plasma deposited hexafluorobenzene fluorocarbon film

著者 (3件)： MA Wei-chun ,  TSAI Ching-yuan ,  HUANG Chun
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 259  号： Part B  ページ： 290-296  発行年： 2014年11月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 13.56MHzにおける低温RFキャピラリージェットによるフルオロカーボン膜の常圧での蒸着を実際に示した。薄膜蒸着の混合物から構成した。膜の化学構造と表面特性をフーリエ変換赤外分光と走査電子顕微鏡分析により評価した。常圧プラズマ蒸着した膜の表面分析は例外的に炭素-フッ素特性を示した。ここで報告したパラメトリック研究は,コーティングの化学的および形態的表面特性の観点から,RFプラズマパワー入力(50-150W)およびモノマーガスの流速(5~20sccm)を変化させることによる蒸着過程の最適化に焦点をあてた。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *脂肪族フッ素化合物 ,  *蒸着膜 ,  *プラズマCVD ,  大気プラズマ ,  プラズマジェット ,  毛細管 ,  石英 ,  分子構造 ,  表面性状 ,  表面分析 ,  流速 ,  単量体 ,  プラズマ重合
準シソーラス用語： 化学構造

分類 (2件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  重合反応一般  (CG04010H)

物質索引 (1件)： ヘキサフルオロベンゼン

タイトルに関連する用語 (3件)： 大気圧プラズマ ,  蒸着 ,  研究