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J-GLOBAL ID：201402204914592433   整理番号：14A0341439

動作音を用いた真空ポンプの故障診断手法

Acoustic Diagnosis Method for Vacuum Pump Condition

著者 (3件)： 久代紀之 (九州工大) ,  松田将大 (九州工大) ,  高原邦夫 (ナガセテクノエンジニアリング)
資料名： 電気設備学会誌  (Journal of the Institute of Electrical Installation Engineers of Japan)
巻： 34  号： 3  ページ： 209-214  発行年： 2014年03月10日 
JST資料番号： G0947B  ISSN： 0910-0350  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体集積回路の製造ラインでは,磨耗故障を生ずる代表的な機器である多くの真空ポンプが使用されている。ここでは,これらのポンプについて,機器を停止することなく,磨耗状態の診断を行うことができる,動作音による磨耗性故障の診断手法・ツールを開発した。まず,真空ポンプの故障要因とメンテナンスの現状を調べ,真空ポンプの動作と動作音の関係を測定した。故障診断アルゴリズムを検討するために,シール部材のリークレベルと動作音の関係,磨耗レベルと吸-排気中間期のリーク音の相関,磨耗レベルと冷却性能の劣化の関係を解析した。その結果から,巡回時にメンテナンス員が携行し,利用することを想定した,集音器と解析ツールで構成される故障診断ツールのプロトタイプを試作した。このプロトタイプを半導体工場で試用することでその有効性を確認した。

シソーラス用語： 装置 ,  *真空ポンプ ,  *故障診断 ,  騒音 ,  リング ,  摩耗故障 ,  特徴抽出
準シソーラス用語： シールリング ,  診断サポートツール ,  動作音 ,  *半導体製造装置

分類 (2件)： 信頼性  (KB04040H) ,  音響測定  (BB03040R)

引用文献 (5件)：

• 小林健二:「音・振動による診断工学」日本音響学会編コロナ社、2000
• 堀越源一:「真空技術[第3版]」 東京大出版会、1994
• 金谷健一:「これなら分かる応用数学教室 -最小二乗法からウェーブレットまで」、共立出版、2003
• 久米均、飯塚悦功: 「回帰分析」 岩波書店、1987
• 広津千尋:臨床試験における統計的諸問題 (1) -同等性検定を中心にして-,臨床評価,Vol.14,pp.467-476.1986.

タイトルに関連する用語 (4件)： 動作音 ,  真空ポンプ ,  故障診断 ,  手法