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J-GLOBAL ID：201402206993936188   整理番号：14A0762249

重力下のオプチカルフラットの変形値の推定

Evaluation of the deformation value of an optical flat under gravity

著者 (2件)： KONDO Yohan (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN) ,  BITOU Youichi (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 25  号： 6  ページ： 064007,1-8  発行年： 2014年06月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 日本,計量標準総合センター,長さ標準研究室で行っているFizeau平坦度干渉計と新しい表面変形プロファイラーについて述べる。このFizeau平坦度干渉計では参照フラットの補正が重要となる。3平面試験を使えば,参照フラットのプロファイルを測定できるが,重力下での変形値は決定できず,変形値は有限要素法分析により計算できる。有限要素法分析の結果を確かめるため,参照フラットを必要とせず,表面プロファイルを直接測定できる走査型変形プロファイラーを開発した。Fizeau平坦度干渉計と走査型変形プロファイラーの測定結果を比較して検討した。3フラット試験と有限要素法分析によって得た参照フラットの補正マップを確かめた。Fizeau平坦度干渉計の不確実性を減少するには,開発した走査型変形プロファイラーの不確実性を評価する課題が必要である。

シソーラス用語： *干渉計 ,  平坦性 ,  表面 ,  変形 ,  定盤 ,  有限要素法 ,  不確実性 ,  効果
準シソーラス用語： *Fizeau干渉計 ,  *平坦度 ,  表面変形 ,  *オプチカルフラット ,  プロファイラ ,  測定不確実性 ,  重力効果

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (3件)： 重力 ,  オプチカルフラット ,  推定