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J-GLOBAL ID：201402207435436361   整理番号：14A0901324

感光性磁気ナノ複合材料を用いた電磁マイクロポンプの開発

Development of an electromagnetic micropump with photosensitive magnetic nanocomposite

著者 (8件)： 植田勇作 (香川大) ,  中原佐 (京大) ,  寺尾京平 (香川大) ,  高尾英邦 (香川大) ,  下川房男 (香川大) ,  大平文和 (香川大) ,  小寺秀俊 (京大) ,  鈴木孝明 (香川大)
資料名： 日本AEM学会誌  (Journal of the Japan Society of Applied Electromagnetics and Mechanics)
巻： 22  号： 2  ページ： 202-207  発行年： 2014年06月10日 
JST資料番号： L2703A  ISSN： 0919-4452  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロポンプはマイクロ流体システムにおける重要な流体要素である。しかし,従来のマイクロポンプは圧電膜,磁気駆動膜など機械式機構等を用いており,作製工程が複雑で集積化されていない。本報告では,マイクロ流体システムに組込可能なマイクロポンプとして半導体製造用微細加工技術を用いて作製した磁気駆動膜を電磁石磁場によって駆動する電磁マイクロポンプを作成した。感光性ナノ複合材料(PNC)を用いた光露光技術により作製した非対称流路を持つマイクロチャンバ上に,ダイヤフラム形状の磁性膜をセルフアライメント加工技術により作製した。試作した電磁マイクロポンプの流体送液時の問題となるPNCの加工裏面の粗さ評価,および流体導入のためのアセンブリ方法の検討と流体送液特性を評価した。磁場印加時の液体の流れを蛍光顕微鏡で観測し,蛍光粒子の移動量を画像解析した。そして,試作マイクロポンプは36nl/min流量の送液性能を有していることを示した。

シソーラス用語： *ポンプ ,  *電磁ポンプ ,  システム ,  感光材料 ,  ナノ複合材料 ,  電磁駆動 ,  フォトリソグラフィー ,  自己整合 ,  蛍光顕微鏡 ,  画像分析 ,  流量 ,  技術 ,  *微細加工 ,  *マイクロポンプ ,  マイクロ流体システム ,  *微細加工技術
準シソーラス用語： 磁気駆動

分類 (2件)： ポンプ,各種揚水装置  (QD05030P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (15件)：

• A. Manz, N. Graber, and H. M. Widmer: “Miniaturized total chemical analysis systems, A novel concept for chemical sensing“, Sensors and Actuator B, Vol.1, pp.244-248, 1990.
• T. Vikner, D. Janasek, and A. Manz, “Micro total analysis systems. Recent developments“, Analytical Chemistry, Vol. 76, pp.3373-3386, 2004.
• C.C.Yang, et al, “The Performance Analysis of Valveless Micropump with Contoured Nozzle/Diffuser” World Academy of Science, Engineering and Technology, Vol.50, pp.199-204, 2011.
• K.S. Yang, et al, “A comparative study of nozzle/diffuser micropumps with novel valves”, Molecules, Vol.17, pp.2178-2187, 2012.
• J.H. Tsai and L. Lin, “A thermal-bubble-actuated micronozzle-diffuser pump” Journal of Microelectromechanical Systems, Vol.11, pp.665-671, 2002.

タイトルに関連する用語 (5件)： 感光性 ,  磁気 ,  ナノ複合材料 ,  マイクロポンプ ,  開発