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J-GLOBAL ID:201402209211727045   整理番号:14A0621617

SrTaO2Nの添加物焼結,ポストアニール及び誘電特性

Additive Sintering, Postannealing, and Dielectric Properties of SrTaO2N
著者 (5件):
資料名:
巻: 97  号:ページ: 1023-1027  発行年: 2014年04月 
JST資料番号: C0253A  ISSN: 0002-7820  CODEN: JACTAW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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無加圧焼結により優れた誘電特性を持つバルクSrTaO<sub>2</sub>N焼結体を作成することを目的として,SrCO<sub>3</sub>添加及びNH<sub>3</sub>中での熱処理の効果について,XRD,酸素/窒素分析計,蛍光X線分光,SEM及び誘電率測定を用いて調べた。試料は,Sr<sub>2</sub>Ta<sub>2</sub>O<sub>7</sub>粉末をNH<sub>3</sub>中,1000°Cで窒化することにより調製したSrTaO<sub>2</sub>Nに,0~5wt%のSrCO<sub>3</sub>を添加し,NH<sub>3</sub>中,1400~1450°Cで焼結することにより,相対密度の異なる試料を作製し,さらにNH<sub>3</sub>中,1000°Cでポストアニールを行った。SrTaO<sub>2</sub>Nは焼結中にSrO及びN<sub>2</sub>を失い,TaO<sub>0.9</sub>の不純物相が生成するが,2.5wt%のSrCO<sub>3</sub>の添加によりSrOの損失を補償し,単相のSrTaO<sub>2</sub>N相を保つことができた。一方,NH<sub>3</sub>中でのポストアニールは,相対密度84%以下の試料で有効で,窒素含有量と電気絶縁性を回復することができた。SrCO<sub>3</sub>添加とNH<sub>3</sub>中でのポストアニールにより,100Hzで誘電率ε<sub>r</sub>=450,誘電損失tanδ<0.1の焼結体を得ることができた。
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分類 (2件):
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セラミック・陶磁器の製造  ,  誘電体一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
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