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J-GLOBAL ID：201402213089296825   整理番号：14A1470602

B(C₂H₅)₃を用いて合成したB添加導電性DLC膜の機械的特性評価

Mechanical Property of B-doped Conductive DLC Films Prepared by B(C₂H₅)₃

著者 (3件)： 町田成康 (日本工大 大学院) ,  竹内貞雄 (日本工大) ,  鈴木学 (日本工大 先端材料技セ)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 65  号： 12  ページ： 615-620  発行年： 2014年12月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ダイヤモンド状炭素(DLC)膜はその極めて優れた性質から,多方面での利用が具現化されつつある。その特性の中でトライボロジー特性は際立っており,摺動面への適用が進められている。しかしながら,DLC膜の絶縁性は静電気帯電を誘発し,利用環境中の塵埃の吸着を引き起こす課題がある。本研究においては,この問題に対して,DLC膜の帯電を排除する導電性の付与を着想し,ホウ素(B)添加の効果を検討した。B添加DLC膜の調製にはB(C₂H₅)₃を用いたRFプラズマCVDを実施した。実験においてはガス流量,B/C比率およびRFプラズマ条件を変化させた。得たDLC膜のB量測定,構造解析,電気抵抗率,硬度,密着力および摩擦摩耗特性評価を実施した。これらの実験から,Bの添加によりDLC膜の電気抵抗率を大幅に低減でき,その量を調製することで硬度および摩擦係数への悪影響を抑制できることを見出した。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  ホウ素 ,  ドーピング ,  *電気抵抗率 ,  押込硬さ ,  *摩擦係数 ,  プラズマCVD

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

引用文献 (27件)：

• 1) I. I. Aksenov, M. G. Maksimov, Yu. Ya. Palij, V. E. Strel'nitskij ; Diamond and Related Materials, 2, 886 (1993).
• 3) T. Kumagai ; Hyomen Gijutsu, 51, 250 (2000).
• 4) A. Matthews, S. S. Eskildsen ; Diamond and Related Materials, 3, 902 (1998).
• 5) M. Ikenaga, K. Ikenaga ; J.Surf.Finish.Soc.Jpn, 53, 711 (2002).
• 6) K. Inagawa ; Hyomen Gijutsu, 52, 815 (2001).

タイトルに関連する用語 (3件)： 導電性 ,  DLC膜 ,  機械的特性評価