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J-GLOBAL ID：201402216025644403   整理番号：14A1091127

集束イオンビームを用いて形成した単結晶ダイヤモンド工具:熱処理による工具寿命向上

Single-crystal diamond tools formed using a focused ion beam: Tool life enhancement via heat treatment

著者 (5件)： KAWASEGI Noritaka (Central Res. Inst., Toyama Industrial Technol. Center, 150 Futagami-machi, Takaoka-shi, Toyama 933-0981, JPN) ,  OZAKI Kazuma (Graduate School of Sci. and Engineering for Education, Univ. of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama-shi, Toyama 930-8555, JPN) ,  MORITA Noboru (Graduate School of Engineering, Chiba Univ., 1-33 Yayoi-cho, Inage-ku, Chiba-shi, Chiba 263-8522, JPN) ,  NISHIMURA Kazuhito (Fac. of Engineering, Kogakuin Univ., 2665-1 Nakano-machi, Hachioji-shi, Tokyo 192-0015, JPN) ,  SASAOKA Hideki (Fac. of Engineering, Yamaguchi Univ., 2-16-1 Tokiwadai Ube-shi, Yamaguchi 755-8611, JPN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 49  ページ： 14-18  発行年： 2014年10月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノメートル及びマイクロメートル寸法の機械加工に使用しかつ集束イオンビーム(FIB)マイクロマシニングで作るダイヤモンド切削工具を改良する方法を述べる。FIB照射はダイヤモンド切削工具に任意の小型形状を作製する効果的な方法ではあるが,FIB照射は照射領域中に,Gaイオン注入だけでなく,非ダイヤモンド相を誘発する。このことは,特に工具寿命と切削超精密機械加工工程の性能に不利な影響を及ぼす。影響を受けた層を除去するために,熱処理手法を適用して最適熱プロフィルを詳細に調べた。切削工具に加えた500°Cの温度がリン化ニッケルの最適機械加工をもたらした。工具寿命は著しく向上して,非照射ダイヤモンド工具と同程度の工具寿命を得た。優れた工具摩耗と耐凝着性のゆえに機械加工表面の品質もきわだって向上した。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： ダイヤモンド工具 ,  *切削工具 ,  *マイクロマシニング ,  イオンビーム加工 ,  *集束イオンビーム ,  ガリウム ,  イオン注入 ,  相 ,  除去 ,  *熱処理 ,  温度依存性 ,  超精密加工 ,  機械工作 ,  *リン化物 ,  ニッケル化合物 ,  耐摩耗性 ,  *工具寿命
準シソーラス用語： *単結晶ダイヤモンド工具 ,  超精密機械加工 ,  非ダイヤモンド相

分類 (3件)： 切削一般  (QC02010V) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 集束イオンビーム ,  単結晶ダイヤモンド工具 ,  熱処理 ,  工具寿命