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J-GLOBAL ID：201402217659002079   整理番号：14A0483438

小型白色X線管を用いたX線反射率測定装置

Portable X-Ray Reflectometer Using a Low Power Polychromatic X-Ray Tube

著者 (5件)： 大西庸礼 (京大 大学院工学研究科) ,  今宿晋 (京大 大学院工学研究科) ,  弓削是貴 (京大 大学院工学研究科) ,  河合潤 (京大 大学院工学研究科) ,  志村尚美 (アールイーエス・ラボ)
資料名： X線分析の進歩  (X線工業分析)
巻： 45  ページ： 211-215  発行年： 2014年03月31日 
JST資料番号： Z0547B  ISSN： 0911-7806  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 数Wの小型白色X線管とシリコンドリフト検出器を使用して,薄膜試料の反射率を測定する小型のX線反射率測定装置を製作した。製作したX線反射率測定装置を用いて,真空蒸着法によってSi基板上に製膜したCu薄膜の反射率を測定した。製作した装置を用いて,Cu薄膜試料の視斜角の変更による干渉縞の変化を測定することができた。また,干渉縞の位置を計算して実験値と比較したところ,高エネルギー側では比較的誤差が大きかったが,低エネルギー側ではよく一致しており,今回製作した装置によって薄膜の厚さと密度が測定できた。(著者抄録)

シソーラス用語： *X線反射 ,  *反射率 ,  *計測 ,  X線管 ,  Si半導体検出器 ,  金属薄膜 ,  銅 ,  干渉縞 ,  密度 ,  *携帯型 ,  端末装置

分類 (3件)： 屈折及び反射の測定と装置  (BD07060V) ,  X線技術  (BA02060D) ,  スペクトル計測及びスペクトロメータ  (AD08030U)

引用文献 (7件)：

• L. G. Parratt: Phys. Rev., 95, 359 (1954).
• Y. Nakano, T. Fukamachi, A. Hayakawa: Jpn. J. Appl. Phys., 17-2, 329 (1978).
• P. Karimov, S. Harada, J. Kawai: Surf. Interface Anal., 35, 76 (2003).
• A. Alshehabi, S. Kunimura, J. Kawai: Anal. Methods, 2, 1555 (2010).
• S. Kunimura, J. Kawai: Anal. Chem., 79, 2593 (2007).

タイトルに関連する用語 (2件)： 白色X線 ,  X線反射率測定