文献

J-GLOBAL ID：201402217798472241   整理番号：14A0310247

ナノ粒子支援パルスレーザ蒸着によるZnOナノウォールのパターン化成長

Patterned growth of ZnO nanowalls by nanoparticle-assisted pulsed laser deposition

著者 (7件)： NAKAMURA Daisuke (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  SHIMOGAKI Tetsuya (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  NAKAO Shihomi (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  HARADA Kosuke (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  MURAOKA Yuuki (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  IKENOUE Hiroshi (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  OKADA Tatsuo (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 47  号： 3  ページ： 034014,1-8  発行年： 2014年01月22日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 筆者らは背景ガス圧を変えることによってナノ粒子支援パルスレーザ蒸着(NAPLD)によるサファイア上でZnO膜,ナノロッド,そしてナノワイヤを合成することに成功した。ZnOナノワイヤ成長に及ぼすバッファ層の影響が調べられた。ナノワイヤ密度はバッファ層の蒸着時間とともに減少した。さらに,ZnOナノワイヤ密度はバッファ層にレーザ照射することによって制御された。さらに,バッファ層のレーザ干渉パターニングもまた,ZnOナノワイヤの成長位置を制御するために導入された。筆者らは4ビーム干渉照射によってZnOナノウォールのパターン成長を示した。NAPLDによるZnOバッファ層のナノワイヤの成長メカニズムが調べられ,バッファ層と干渉レーザはNAPLDによって合成されたZnOナノ結晶の成長位置と形態を制御するための有効な方法の一つとして使用可能であると結論された。

シソーラス用語： *レーザ蒸着 ,  ナノ粒子 ,  酸化亜鉛 ,  ナノ構造 ,  *ナノワイヤ ,  バッファ層 ,  *パターン形成 ,  パルスレーザ蒸着 ,  ナノウォール
準シソーラス用語： パターンニング ,  パターン化

分類 (2件)： 酸化物の結晶成長  (BK13050I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： ナノ粒子 ,  支援 ,  パルスレーザ蒸着 ,  ZnO ,  ナノウォール ,  パターン化 ,  成長