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J-GLOBAL ID:201402217828649460   整理番号:14A0231392

電子ビームプローブを用いて感光体上に形成された静電潜像の高分解能測定

High-Resolution Measurement of Electrostatic Latent Image Formed on Photoconductor using Electron Beam Probe
著者 (1件):
資料名:
巻: 52  号:ページ: 501-508 (J-STAGE)  発行年: 2013年 
JST資料番号: G0323A  ISSN: 1344-4425  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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感光体上に静電潜像の測定を可能にする新規な方法を提案した。静電潜像は,真空チャンバ内に帯電感光体のレーザー露光により形成した。この方法の重要な特徴は,帯電,露光,及び検出装置が,リ感光体上の静電潜像の測定を可能にする新規な方法を提案した。真空チャンバ内で感光体を帯電させレーザー露光により静電潜像を形成する。この方法の重要な特徴は,帯電,露光,及び検出装置が,リアルタイムに測定をすべて可能であること,同一システム内に組み込まれていることである。電子ビームプローブの走査により発生する2次電子を検出することによって静電潜像は測定される。1次電子ビームが感光体に当たったとき,2次電子を生成する。帯電領域で発生した2次電子は電子検出器に移行する。対照的に,露光部に発生した2次電子は感光体のほうに引き戻され,検出器に達した二次電子の数を減少させる。この方法は,ミクロンオーダーの高分解能測定で良好な性能を有する。(翻訳著者抄録)
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分類 (2件):
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入出力装置  ,  写真感光理論 
引用文献 (11件):
  • 1) E. J. Yarmchuk and AG.E. Keefe, “High-resolution surface charge measurements on an organic photoconductor, ” J. Appl. Phys., 66 (11), pp. 5435-5439 (1989).
  • 2) Jun-ichi Takahashi and Tomomi Katoh, “High Voltage and High Resolution Surface Potential Imaging using Scanning Electrostatic Force Microscope, ” T. IEE Japan, Vol.117-E, No. 12, pp594-599 [in Japanese].
  • 3) G. F. Fritz, D. C. Hoesterey and L. E. Brady, “Observation of Xerographic Electrostatic Latent Images with a Scanning Electron Microscope,” Appl. Phys. Lett., 19 (8), pp. 277-278 (1971).
  • 4) H. Fudouzi, M. Egashira and N. Shinya, “Drawing and Observation of Electrified Images on Ceramic Substrates Using Electron Beam,” Journal of the Ceramic Society of Japan, 104 (6), pp556-561 (1996) [in Japanese].
  • 5) H. Suhara, “Measurement of Electrostatic Latent Image on Photoconductors by Use of Electron Beam Probe,” Proc. NIP25, pp. 482-485 (2009).
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